[대전=뉴스봄] 박상배 기자 = 세계 최초로 반도체 공정의 측정장비를 나노미터 단위로 교정하는 기준자가 국내 기술로 상용화됐다.
6일 ㈜킴스레퍼런스(대표이사 김경중)는 대표적인 반도체 공정 측정장비인 주사전자현미경(SEM)과 원자힘현미경(AFM)의 배율을 나노미터(nm, 10억 분의 1m) 단위로 교정하는 ‘현미경 고배율 교정법’과 ‘나노미터 기준자’를 개발하는데 성공했다고 밝혔다.
고배율 현미경인 SEM과 AFM으로 나노크기의 물체를 측정할 때 실제 크기 측정이 어려워 정확한 배율 결정이 어렵다는 문제를 해결해 나노미터 수준에서 정확하게 배율을 교정하는 방법과 이를 위한 인증표준물질인 나노미터 기준자를 세계 최초로 상용화한 것이다.
이로써 반도체 나노 패턴의 선폭이나 너비 측정의 정확도를 크게 향상시킬 것으로 기대된다.
이번 연구의 핵심은 고배율 교정이 가능한 새로운 개념의 표준물질인 나노미터 기준자를 자체적으로 설계하고 제작에 성공해 상용화한 것으로 글로벌 선진국가의 유사제품이 갖지 못한 고배율 교정 기능을 탑재함으로써 최고 수준의 인증표준물질이 탄생하게 됐다.
한국표준과학연구원의 연구원 창업으로 지난해 말 창업한 ㈜킴스레퍼런스는 지난해 초 일본 회사의 급작스런 표준물질 공급중단 및 가격인상에 따른 국내 측정장비 제조회사의 어려움을 해결하기 위해 창업했다.
이어 지난 3월의 기술이전으로 본격적인 사업을 전개하고 있으며, 표준물질의 수급 안정성을 확보하고 최고 수준의 측정 신뢰성으로 국내 반도체 소재ㆍ부품ㆍ장비 산업의 자립도를 한층 높일 것으로 기대되고 있다.
김경중 대표는 “지난달부터 첫 매출이 이뤄지고 있다”며 “향후 국내 첨단 산업에 필요한 표준물질을 보급하는 글로벌 리더로 성장하겠다”고 포부를 밝혔다.
한편 이 기술은 국가과학기술연구회 창의형융합연구사업의 지원으로 개발됐으며 국내 특허등록과 더불어 측정과학 분야 상위 5% 이내의 세계적 학술지인 어플라이드 서페이스 사이언스(Applied Surface Science, IF: 6.707)에 최근 게재 승인됨으로써 국제적으로 인정받게 됐다.
